泄漏率公式
LRsccm=(V×?p)/(Patm×t)
是怎么得來的呢?請看下面圖片。

如果還沒看懂,下面會(huì)慢慢分析,以下都是公式
泄漏率公式來源于理想氣體狀態(tài)方程

2. 我們在方程中找兩個(gè)狀態(tài)點(diǎn)

3. 在溫度相同的情況下,兩個(gè)等式左邊相等

4. 刪除等式兩邊相同項(xiàng)

5. 現(xiàn)在讓兩個(gè)狀態(tài)點(diǎn)靠近,?p 和?v 相對于P和V將越來越小

6. 現(xiàn)在?p 和?v相對P和V已經(jīng)非常小了

7. 現(xiàn)在已經(jīng)小到可以將?p 和?v忽略不計(jì)了

8. 現(xiàn)在將等式變換下就得到以下公式

9. 由此就得到了泄漏率計(jì)算公式

10. 將壓力換成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的大氣壓力,就得到了sccm結(jié)果的泄漏率公式

從以上可以看出,該公式是?p很小的時(shí)候才成立,那得多小呢?
?p相對于P小得多,小到可以忽略不計(jì)。(此文摘自網(wǎng)絡(luò))